潔凈室檢測(cè)方法

一、測(cè)試目的

確認(rèn)在無塵室釋放顆粒后，測(cè)量在多少時(shí)間內(nèi)能恢復(fù)到釋放之前的潔凈水平。

二、測(cè)試儀器

顆粒測(cè)試儀（品牌：美國(guó) MET ONE空氣粒子計(jì)數(shù)器），型號(hào)：HHPC2+、HHPC3+、HHPC6+；3413、3423、3411、3445、顆粒釋放器。

三、測(cè)試位置

任意抽取測(cè)量點(diǎn)，也可與相關(guān)人員共同確認(rèn)測(cè)試點(diǎn)。

四、測(cè)試步驟

1 .在測(cè)試開始之前要保證凈房空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)24以上，讓潔凈環(huán)境達(dá)到一個(gè)穩(wěn)定的水平。

2. 在抽取的測(cè)量點(diǎn)放好顆粒計(jì)數(shù)器，先做顆粒潔凈度測(cè)試，記錄該房間每立方英尺體積的空氣中含有的0.3um顆粒數(shù)量，連續(xù)測(cè)試數(shù)分鐘，待取一個(gè)穩(wěn)定的數(shù)據(jù)，此時(shí)，再將該房間的整個(gè)空調(diào)系統(tǒng)全部斷電。

3. 在該房間內(nèi)釋放顆粒，使于外界非潔凈區(qū)域的顆粒自使整個(gè)潔凈室0.3um的顆粒濃度達(dá)到之前濃度的10或100倍。此時(shí)再啟動(dòng)空調(diào)系統(tǒng)，使其正常運(yùn)行，測(cè)試該潔凈室內(nèi)顆粒濃度恢復(fù)到之前水平所需要的時(shí)間 。